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陀螺儀(yi) 是用高速回轉體(ti) 的動量矩敏感殼體(ti) 相對慣性空間繞正交於(yu) 自轉軸的一個(ge) 或二個(ge) 軸的角運動檢測裝置,現代陀螺儀(yi) 是一種能夠精確地確定運動物體(ti) 的方位的儀(yi) 器,它是現代航空,航海,航天和國防工業(ye) 中廣泛使用的一種慣性導航儀(yi) 器,它的發展對一個(ge) 國家的工業(ye) ,國防和其它高科技的發展具有十分重要的戰略意義(yi) 。傳(chuan) 統的慣性陀螺儀(yi) 主要是指機械式的陀螺儀(yi) ,機械式的陀螺儀(yi) 對工藝結構的要求很高,結構複雜,它的精度受到了很多方麵的製約。
自從(cong) 上個(ge) 世紀七十年代以來,現代陀螺儀(yi) 的發展已經進入了一個(ge) 全新的階段,據快包資深數據分析師統計,上個(ge) 月平台與(yu) 陀螺儀(yi) 技術相關(guan) 項目多達十多個(ge) ,增長趨勢明顯,其中一個(ge) 單片機+無線模塊+陀螺儀(yi) 項目已經完成,在工作人員的說服下,服務商願意給大家分享陀螺儀(yi) 開發的經驗,共享知識,共同學習(xi) 進步。
容感式MEMS加速度計內(nei) 部也存在一個(ge) 質量塊,從(cong) 單個(ge) 單元來看,它是標準的平板電容器。加速度的變化帶動活動質量塊的移動從(cong) 而改變平板電容兩(liang) 極的間距和正對麵積,通過測量電容變化量來計算加速度。Freescale的MMA7660FC這一款加速度計(3-Axis Orientation/Motion Detection Sensor),這一款芯片也是利用這一原理設計的。datasheet的第9頁介紹了其工作原理:當芯片有向右的加速度時,中間的活動質量快相對於(yu) 另外兩(liang) 塊電容板向左移動,這兩(liang) 平行板電容器的電容就發生了變化,從(cong) 而測量出芯片運動的加速度。
由於(yu) 壓電式MEMS加速度計內(nei) 部有剛體(ti) 支撐的存在,通常情況下,壓電式MEMS加速度計隻能感應到“動態”加速度,而不能感應到“靜態”加速度,也就是我們(men) 所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應“動態”加速度,又能感應“靜態”加速度。
MEMS陀螺儀(yi) 利用科裏奧利力——旋轉物體(ti) 在有徑向運動時所受到的切向力。假設旋轉物體(ti) 有徑向速度Vr,那麽(me) 將會(hui) 產(chan) 生切向科裏奧利加速度。