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睿感(Sciosesense)推出基於CMOS-MEMS工藝的單芯片壓力傳感器
發布時間:2022-11-15 閱讀量:1389 來源:必威官方网站手机網整理 作者:必威官方网站手机網

全新的緊湊型ENS220提供高精度、低噪聲氣壓測量,輸出數據速率最高可達1KHz


 荷蘭(lan) 埃因霍溫中國 濟南2022年11月15日業(ye) 界領先的環境和高精度流量和時間測量傳(chuan) 感芯片廠商睿感(Sciosesense今日宣布,推出采用緊湊型封裝的內(nei) 置溫度傳(chuan) 感器的超低功耗壓力傳(chuan) 感器--ENS220,可提供卓越的測量速度、分辨率和精度。

 

ENS220將在慕尼黑電子展(electronica,11月15-18日慕尼黑)B3.419號Sciosesense展台展出。

 

該傳(chuan) 感器采用業(ye) 界主流的2.0mm×2.0mm尺寸LGA封裝,適用於(yu) 移動設備和可穿戴設備,如智能手表和腕帶、GPS導航係統以及個(ge) 人健康監測設備。

 

睿感(Sciosesense)推出基於(yu) CMOS-MEMS工藝的單芯片壓力傳(chuan) 感器

 

ENS220的相對壓力測量精度達±2.5Pa,換算成海拔或高度時,相當於(yu) 83m高度差下±21cm的精度;使用最高采樣率時,典型噪聲水平為(wei) 0.85Pa(RMS)。將二者相結合,能檢測到小至7cm的高度變化,適用於(yu) 室內(nei) 導航和定位、活動跟蹤和跌倒檢測應用。

 

這些應用均得益於(yu) ENS220的高速采樣、低噪聲、高分辨率與(yu) 高精度。測量分辨率高達1/64Pa,輸出數據速率可由用戶配置,最高可達1kHz,方便客戶在時延與(yu) 功耗間取得最佳平衡。ENS220高速采樣下的高精度使其特別適用於(yu) 跌倒檢測等需要以高精確度連續高速測量微小變化的應用。

 

ENS220功耗極低, 在額定供電電壓為(wei) 1.8V、采樣率為(wei) 1KHz時,工作電流小於(yu) 80µA;每分鍾采樣一次時,工作電流僅(jin) 為(wei) 0.8µA;待機模式下工作電流為(wei) 0.1µA。

 

全新的CMOS-MEMS集成單芯片架構

 

為(wei) 小型表麵貼裝壓力傳(chuan) 感器帶來全新的技術路線,ENS220是壓力傳(chuan) 感器領域的重大技術創新。傳(chuan) 統的壓力傳(chuan) 感器一般由MEMS傳(chuan) 感與(yu) ASIC電路兩(liang) 個(ge) 獨立單元通過連接線綁定封裝而成,ENS220的獨特之處在於(yu) MEMS傳(chuan) 感和ASIC電路都實現在同一個(ge) CMOS die上,是單芯片(Monolithic)解決(jue) 方案。 

 

CMOS-MEMS單芯片架構消除了傳(chuan) 統傳(chuan) 感器中MEMS與(yu) CMOS接口上產(chan) 生的寄生參數。此外,通過CMOS-MEMS架構,Sciosesense還能讓壓力薄膜的電容與(yu) 信號處理電路的電容進行完美匹配,最大限度降低內(nei) 部電路(包括24位ADC)的噪聲。由此帶來的好處主要有:

 

l更低底噪


l更高靈敏度


l更小尺寸


l更低的製造成本

 

ENS220的內(nei) 置溫度傳(chuan) 感器的分辨率達8mK,精度達±0.2K,可確保在300hPa至1,200hPa的測量範圍內(nei) (-40℃至85℃)對壓力輸出進行可靠的溫度補償(chang) 。

 

Sciosesense首席執行官Dirk Enderlein表示:“ENS220是多年來壓力傳(chuan) 感器市場的重大突破,相比傳(chuan) 統的MEMS壓力傳(chuan) 感器,Sciosesense在CMOS中實現了整個(ge) 傳(chuan) 感器及電路, 底噪得到大幅降低,同時提高了靈敏度並縮短了轉換時間。對於(yu) 需要在高采樣率下實現高準確性、高精度的高度測量或海拔測量的應用而言,ENS220應該是壓力傳(chuan) 感器的最佳選擇。”

 

ENS220通過數字I2C或SPI接口輸出壓力或溫度值,該器件LGA封裝的尺寸是2.0mm×2.0mm×0.75mm。


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