由於(yu) 全球對於(yu) 節能減碳的需求愈發迫切，且新能源、電動汽車、儲(chu) 能和太陽能光電等領域強勁發展，功率半導體(ti) 被認為(wei) 是中國半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 崛起的可能突破口之一，相關(guan) 供應商近年來紛紛投入大量資金進行布局，相關(guan) 計劃也陸續傳(chuan) 出進度更新的消息。  

近日，作為(wei) 中國功率半導體(ti) 業(ye) 界龍頭之一的華潤微電子宣布，重慶12英寸晶圓製造產(chan) 線，以及先進功率封裝測試基地等兩(liang) 大建設計劃，均已建成投產(chan) ，標誌著華潤微車用功率裝置產(chan) 業(ye) 基地已初步成形，將持續支持產(chan) 品應用升級，進一步完善在車用功率半導體(ti) 領域的布局。  

其中，重慶12英寸晶圓產(chan) 線建設計劃，由華潤微、大基金二期與(yu) 重慶西永微電子產(chan) 業(ye) 園區等，共同投資人民幣75.5億(yi) 元；建成以後，中高階功率半導體(ti) 12英寸晶圓月產(chan) 能預計達到3萬(wan) ～3.5萬(wan) 片。此外還配套建設12英寸外延及薄片製程產(chan) 能。  

另一方麵，同樣位於(yu) 重慶的華潤微先進功率封裝測試基地計劃，則致力打造製程全麵、技術先進、規模領先，且聚焦於(yu) 汽車電子和工業(ye) 控製市場的功率半導體(ti) 專(zhuan) 用封測工廠，其中涵蓋模塊級、晶圓級、架構級、麵板級多條封裝測試產(chan) 線。這項建設於(yu) 2021年11月正式開工；2022年12月22日，首顆中低壓SGT功率裝置PDFN 3.3產(chan) 品順利生產(chan) 出來，良率達到99.5%，各項指標滿足產(chan) 品規範。   

功率半導體(ti) 起飛，製程向12英寸拓展

由於(yu) 中國已經成為(wei) 全球最大的電動汽車市場，未來功率半導體(ti) 有望保持平穩成長態勢。Omdia預測，2022～2027年中國年均複合成長率大約4.5%，超過全球功率半導體(ti) 市場成長速度； 至2027年，中國功率半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 市場規模，預期可達到238億(yi) 美元。  

麵對發展潛力巨大的功率半導體(ti) 市場，英飛淩（Infineon）、意法半導體(ti) （STMicroelectronics）、WolfSpeed等國際大廠，紛紛下場搶占先機。根據Omdia公布的2021年功率半導體(ti) 市場前十大廠商銷售額排名，英飛淩排名第一，安森美（Onsemi）排名第二，意法半導體(ti) 排名第三，中國則隻有聞泰科技旗下安世半導體(ti) （Nexperia）上榜，排名第八。在裝置方麵，由意法半導體(ti) 、英飛淩等設計生產(chan) 的SiC MOSFET，已經大量應用於(yu) Tesla、現代汽車（Hyundai Motor）等車廠的產(chan) 品，而中國廠商有斯達半導、比亞(ya) 迪半導體(ti) 等，尚處於(yu) 少量供應階段。  

盡管中國還處於(yu) 弱勢，但對於(yu) 功率半導體(ti) 這個(ge) 被視為(wei) 中國最有希望快速實現國產(chan) 化的領域，中國半導體(ti) 廠商還是豪擲千金“下注”不手軟，開工進度也正跑出“加速度”。例如，華潤微表示，位於(yu) 無錫和重慶的產(chan) 線，都有資本支出規劃，產(chan) 能會(hui) 進一步提升。另外，中車時代功率半導體(ti) 裝置核心製造產(chan) 業(ye) 園建設計劃，則已於(yu) 2022年10月28日開工，總投資額逾人民幣52億(yi) 元，預期新增8英寸中低壓組件基材年產(chan) 能36萬(wan) 片，產(chan) 品目標應用領域包括新能源發電及工控、家電。  

士蘭(lan) 微以人民幣30億(yi) 元，透過控股子公司成都士蘭(lan) 投資年產(chan) 720萬(wan) 塊汽車級功率模組封裝建設計劃，還經由士蘭(lan) 明镓於(yu) 2022年7月正式啟動化合物半導體(ti) 第二期建設計劃，計劃投資人民幣15億(yi) 元，建設一條6英寸SiC功率裝置晶圓產(chan) 線，年產(chan) 能預計達到14.4萬(wan) 片。接著在2022年10月，士蘭(lan) 微擬募資不超過人民幣65億(yi) 元，投入年產(chan) 36萬(wan) 片12英寸晶圓產(chan) 線、SiC功率裝置產(chan) 線、汽車半導體(ti) 封裝（一期）等。  

隨著功率裝置應用領域逐漸擴大，晶圓製程也正在不斷向12英寸拓展當中； 功率裝置龍頭廠商紛紛布局12英寸產(chan) 線，生產(chan) 使用量較大的中低壓功率裝置。目前在12英寸晶圓製造方麵，除了上述的重慶產(chan) 線建設計劃以外，華潤微還擁有深圳產(chan) 線建設計劃，主要聚焦於(yu) 40納米以上模擬特殊製程，一期總投資額人民幣220億(yi) 元，已於(yu) 2022年10月29日開工，預期年產(chan) 能48萬(wan) 片，產(chan) 品將投入汽車電子、新能源、工業(ye) 控製、消費電子等應用。  

背後有聞泰科技與(yu) 安世半導體(ti) 技術支持的鼎泰匠芯，旗下12英寸車用功率半導體(ti) 自動化晶圓製造中心建設計劃，也已經於(yu) 2021年1月正式啟動，同年7月開工。2022年11月18日，鼎泰匠芯舉(ju) 行無塵室交付儀(yi) 式，首台ASML微影設備搬入，這意味著即將進入試投產(chan) 階段。這是中國第一座12英寸車用功率半導體(ti) 自動化晶圓製造中心，預計月產(chan) 能可達4.5萬(wan) 片，主要生產(chan) MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率裝置。  

展望2030年以後，為(wei) 了順應零碳與(yu) 環保節能的概念成為(wei) 全球產(chan) 業(ye) 共識，被視為(wei) 排碳大戶的電力、工業(ye) 與(yu) 交通等產(chan) 業(ye) ，預期會(hui) 在新的需求下，主導接下來電力電子產(chan) 業(ye) 的革新； 未來功率元件材料包括矽、GaN、SiC及第四類半導體(ti) 氧化镓等，也都將朝向永續目標發展。

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